流量センサ

IST AGの薄膜流量センサは、さまざまな流量アプリケーションにソリューションを提供します。 薄膜技術と薄膜技術は、高精度の温度センサとヒータをセンサのコア要素として組み込んでいます。流量センサは気体(-20℃〜+400℃の使用温度範囲)および液体(-50℃〜+180℃の使用温度範囲)に適用可能で、0m/sから100m/sの流速と方向を測定できます。

IST AGは、熱式流量センサを開発および製造しており、気体および液体用途で流量を測定するための3つの異なるソリューションを提供しています。標準的なソリューションは、さまざまな流れの用途に最適ですが、お客様特殊要件を満たすように適合させることができます。 標準的な流量センサのために、評価のための電子機器が提供されています。

長年の経験を生かして、IST AGはセンサ技術の開発とコンサルティングの面で顧客固有のアプリケーションの開発も提供しています。標準開発プロセスの一環として、IST AGは実装時点でサポートを提供します - これにより、特定のアプリケーションに最適なセンサーソリューションが保証されます。

気体用流量センサ

IST AG熱式流量センサは、小型で堅牢な設計、およびさまざまなアプリケーションやハウジングへの容易な適応性を兼ね備えています。IST AGは、さまざまな流量アプリケーションに適したソリューションと、有益な価格でアプリケーションの特殊要件を満たすようにパラメータをカスタマイズするオプションを提供します。 IST AGの気体流量製品ラインは、風速と熱量の両方の原理に基づく熱式流量センサで構成されています。

開発ルートは、ダイナミックレンジ、応答時間、指向性検出、または周囲条件に関して、可能な限り最高のセンサ適応を保証します。

個々の流量センサの要件については、当社にお問い合わせください。

  • 流量センサ FSシリーズ

    FS7は、さまざまな気体流量アプリケーションに最適な標準ソリューションです。 FS7.4Wは、最高400℃までの温度での使用のために特別に設計されています。
    熱式気体流量センサシリーズは、どちらも風速計原理に基づいて動作し、流路に浸された1つのチップ上の2つの白金抵抗素子で構成されています。気体温度 風速計原理は流速の関数に基づいており、熱伝達の原理を利用して流速を決定します。ヒータは、温度センサによって検出された周囲温度より高い一定の温度差に設定されています。FS2は熱量測定原理に基づいて動作し、流速と流れの方向を検出することが出来ます。

    流れがヒータを通過すると、熱がヒータから媒体に伝達され、エネルギーが流体に伝達され、温度差が減少します。その結果、「元の」温度差をリセットするために、ヒータの電力を増やす必要があります。流量が増加すると、伝達される熱量も増加します。 したがって、温度差を調整するために必要な電力は、センサを通過する流量の目安です。 熱伝達を知ることによって、一定の温度差を維持するのに必要な電圧補償の量から流量を決定することができます。

    ヒータと温度センサは白金製で、長期安定性に優れています。

    FS2熱式流量センサは熱量測定原理に基づいて動作し、4つの白金薄膜抵抗器(ヒータとして使用される1つの白金薄膜抵抗器、流速と流れの方向を検出するために使用される2つの白金薄膜抵抗器、および周囲温度測定用温度センサ)で構成されます。ヒータは2つの温度センサに囲まれています。流れがセンサを通過すると、熱がセンサから媒体に移動します。流量が増加すると、移動する熱量も増加します。これは流速と方向の関数である出力信号を導きます。熱伝達を知ることによって、一定の温度差を維持するのに必要な電圧補償量から流量を決定することができます。流れがない状態では、これら2つの抵抗は等しく加熱されます。流れが現れた場合、流れの方向に応じて、それらのうちの一方が他方よりも冷却されます。

  • FS7 - 最高使用温度+ 150℃までの高感度を必要とする用途に最適

    IST AG FS7熱式流量センサは、FS5流量センサの後継機種であり、対称的なヒータ設計と向上した感度を示します。FS7流量センサは気体に適用可能で、優れた長期安定性を提供します。FS7センサの小さな熱質量は速い応答時間を提供します。 さらに、標準のFS7センサは、さまざまなアプリケーションに簡単に実装できるハウジング付きでも入手可能です。

    FS7熱式質量流量センサーのその他の利点は次のとおりです。

    • さまざまな用途やハウジングに簡単に適応
    • 優れた長期安定性
    • 簡単な信号処理
    • 簡易校正
    • 安定した白金薄膜技術
    • 優れた再現性
    • 要求に応じて顧客カスタマイズセンサ

    IST AG FS7流量センサは、さまざまな流量アプリケーションでガス流量を測定するのに最適です。

    詳しくは、以下を参照してください。

    Data Sheet Flow FS7

    Application Note Flow FS7

    さらに、IST AGはFS熱式気体流量センサの評価用フローモジュールを提供しています。

    Flow Demo Board - FSの評価に最適

    IST AG Flow Demo BoardでFS熱式流量センサの簡単な評価ができます。デモボードはプラグアンドプレイツールとして使用でき、追加の調整なしで迅速な測定結果を提供します。

    Flow Demo Boardのその他の利点は次のとおりです。

    • アナログ出力付きの使いやすいPlug&Playモジュール(未校正)
    • マイクロプロセッサやソフトウェアの影響を受けない信号
    • 簡易CTA(恒温風速計)
    • 簡単なゲイン調整

    詳しくは、以下を参照してください。

    Data Sheet Flow Demo Board

    Quick Start Guide Flow Demo Board

  • FS7.4W - 最高使用温度+ 400℃までの高感度を必要とする用途に最適

    IST AG FS7.4W気体流量センサは、最大400°Cの温度での用途向けに開発されました。FS7.4Wの設計は、感度を向上させる対称ヒータを提供するFS7設計に基づいています。FS7.4W流量センサは気体に適用可能で、優れた長期安定性を提供します。 FS7.4Wセンサの小さな熱質量は速い応答時間を提供します。

    FS7.4Wサーマルマスフローセンサのその他の利点は次のとおりです。

    • さまざまな用途やハウジングに簡単に適応
    • 優れた長期安定性
    • 簡単な信号処理
    • 簡易校正
    • 安定した白金薄膜技術
    • 優れた再現性
    • 要求に応じて利用可能な顧客特有のセンサ

    IST AG FS7.4W流量センサは、さまざまな流量用途でガス流量を測定するのに最適です。

    詳しくは、以下を参照してください。

    Data Sheet Flow FS7.4W

    Application Note Flow FS7

    さらに、IST AGはFS熱式気体流量センサを評価するためのフローモジュールを提供しています。

    Flow Demo Board - FSの評価に最適

    IST AG Flow Demo Boardは、FS熱式気体流量センサの簡単な評価を提供します。デモボードはプラグアンドプレイツールとして使用でき、追加の調整なしで迅速な測定結果を提供します。

    Flow Demo Boardのその他の利点は次のとおりです。

    • 使いやすいプラグアンドプレイモジュール(未校正)
    • マイクロプロセッサやソフトウェアの影響を受けない信号
    • 簡易CTA(恒温風速計)
    • 簡単なゲイン調整

    詳しくは、以下を参照してください。

    Data Sheet Flow Demo Board

    Quick Start Guide Flow Demo Board

     

  • FS2 - ガス流量と方向の測定に最適

    IST AG FS2流量センサは気体に適用可能で、優れた長期安定性を提供します。 流量の測定に加えて、FS2ガス流量センサは卓越した感度で流れの方向を検出することができます。

    FS2サーマルマスフローセンサのその他の利点は次のとおりです。

    • 簡単な信号処理
    • 簡易校正
    • センサ単体は、+450℃まで耐性があります(顧客仕様)。
    • 安定した白金薄技術
    • 優れた再現性
    • 可動機械部品なし
    • 要求に応じて利用可能な顧客特有のセンサ

    IST AG FS2流量センサは気体流量、流れ方向の測定に最適です

    詳しくは、以下を参照してください。

    Data Sheet Flow FS2

  • SFS - シリコン流量センサ

    SFSは、シリコン技術に基づいたIST AG初の流量センサです。それは熱量測定原理に従って操作され、従って流速だけでなく流れの方向も検出することができます。

    SFS流量センサの対称設計により、測定信号の判断と評価が容易になります。センサはさまざまな気体で使用できます。その特徴は、高感度、非常に速い応答時間および非常に低いエネルギー消費です。

    IIST AGは、顧客のシステム統合からのサポートから、事前に組み立てられた顧客固有の部分的なソリューション、そして顧客のアプリケーションに合わせた完全なソリューションまで、幅広い協力を提供します。

  • SFS01 - 低流量の超高速測定用

    SFS01は、最大3.5 m / s(気体中)の低流速に特に適しています。それは流速と同様に流速の非常に速い測定結果を示します。

    シリコン流量センサSFS01には、3つの主な特徴があります。

    • 非常に速い応答時間<5ミリ秒
    • 非常に低いエネルギー消費
    • 温度補償を含む簡単なシステム統合

    適切なチャネル調整で、センサの性能を所望の用途に最適に合わせることを可能です。SFS01流量センサは、スペースが限られたアプリケーションに最適ですが、すぐに使用できるシステムに簡単にアップグレードすることもできます。

    SFS01流量センサの適切な応用分野は、バッテリ駆動/携帯機器の流量測定、空調技術(HVAC)、自動化技術、そしてプロセスおよび制御工学です。

    詳しくは、以下を参照してください。

    Data Sheet SFS01

    Application Note SFS

    SFS01 EvaKit - シリコン流量センサの簡単な評価に最適

    IST AG SFS01 EvaKitは、SFS01気体流量センサの簡単な評価を提供します。アナログ出力とデジタル出力(I2C)の両方を備えており、SFS01センサを迅速かつ柔軟に評価することができます。I2C出力には、0〜±200 sccmの未処理信号値と校正済み流量値の両方が含まれます。

    SFS01 EvaKitのさらなる利点は次のとおりです。

    • 優れた測定力
    • 生信号のアナログ出力
    • 未処理信号と完全校正信号によるデジタル出力
    • 空気圧接続付き統合フローチャンネル

    詳しくは、以下を参照してください。

    Data Sheet SFS01 EvaKit

  • MFS - マイクロ流量センサ

    MFS熱式流量センサは、0〜150 m / s(CTAモード)の広い流量範囲、および-40℃〜+80℃の温度範囲で使用できます。 多種多様なガスの流量測定に使用されます。 MFSセンサの特別な機能は、煙や排ガスの発生を伴う工業用フローアプリケーションにも適していることです。MFSセンサは、風速測定モードまたは熱量測定モードのどちらでも操作できます。流れの方向を測定するのにも適しています。

    MFS流量センサは、膜として機能する薄いポリマー層を有する感光性ガラス基板に基づいている。

    IST AGは、チップレベルに基づく適応から個々のソリューション全体の共同開発まで、お客様固有のMFSセンサの適応を提供します。このようにして、センサがお客様の用途に最適に適合していることを確認します。

  • MicroFlow - 広いダイナミックレンジにわたる高性能

    IST AG MicroFlowSens(MFS)技術は、高速流量測定用に開発されました。薄膜形状により、熱質量は最小限に抑えられ、非常に速い応答時間と低消費電力を実現します。 MicroFlowSensは流速の測定に加えて、優れた感度を提供し、流れの方向を検出することができます。 MFS流量センサは、限られたスペースシステムの統合に最適であり、PCB上の統合センサとして利用可能です。

    MFS熱式質量流量センサのその他の利点は次のとおりです。

    • CTAモードで高流速と速い応答時間を持つアプリケーションのための優れたソリューション(CTA:constant temperatuer anemometer)
    • バイパスなしでCTAモード(10'000'000:1)で非常に高い測定ダイナミック
    • 非常に低い流量の測定やブリッジモードでの漏れ検知に最適
    • 攻撃的なガスや蒸気に対する高い耐薬品性
    • さまざまな感度と回路トポロジが利用可能
    • 流れ方向の検出
    • ご要望に応じてお客様固有のセンサレイアウト

    IST AG MFSガス流量センサは、プロセス制御、ハンドヘルド機器、および医療用途での測定に最適です。

    詳しくは、以下を参照してください。

    Data Sheet Flow MFS02

    MFSのさまざまな設計により、アプリケーションの要件に最も適したセンサと一致する可能性があります。

    以下の表は、最も重要なセンサパラメータの比較を示しています。

    さらに、IST AGはMFS熱式気体流量センサの評価用フローモジュールを提供しています。

    MicroFlowアンプモジュール - MicroFlowSensのデモと評価に最適

    IST AG MicroFlowアンプモジュールは、MicroFlowSens気体流量センサの簡単な評価を提供します。 MicroFlowアンプモジュールはプラグアンドプレイツールとして使用することができ、追加調整なしで迅速な測定結果を提供します。 このモジュールでは、MFS02センサはブリッジ構成で接続されています。未校正ブリッジ電圧は流速と方向の関数です。

    MicroFlowアンプモジュールのその他の利点は次のとおりです。

    • 単電源12 VDC
    • フローチャンネルと空気圧コネクタを取り付け
    • 個別温度センサ内蔵
    • 終端ブロックでの内部供給電圧、オフセット電圧、ヒータ電圧の監視
    • ネジ止め端子台とのインターフェース
    • 3つのトリミングポテンショメータによる調整(ゲイン、オフセット、ヒータ電圧

    詳しくは、以下を参照してください。

    Data Sheet Flow MFS Amplifier Module

    MFM.EVAL.01.DI2C - 非常に低い差圧用途に最適

    IST AG MFM.EVAL.01.DI2Cフローモジュールは、最大5 Paのフルスケールの差圧測定を提供し、付属のソフトウェアとI2CまたはSPI-to-USBコンバータで評価します。 温度の統合測定に加えて、動的差圧モジュールは、特許取得済みの流量測定、5 mPaのノイズフリー分解能を備えた200万デジタルカウント、およびフルスケール0.02%未満の再現性を提供します。

    MFM.EVAL.01.DI2Cのその他の利点は次のとおりです。

    • MFS05マイクロフローセンサ - MEMSコンポーネント
    • 24ビット分解能(流量/圧力)
    • 5 Pa動作測定範囲
    • 特許取得済みの流量測定
    • 24ビット分解能の統合温度測定
    • デジタル(I2C、SPI)またはPWM信号出力

    詳しくは、以下を参照してください。

    Data Sheet Flow Differential Pressure Module

  • MIDAS M1.x(試作品入手可能) - 簡単な統合およびガスの流れと方向の超高速測定に最適

    IST AG MIDAS M1.x気体流量センサは、統合されたフローチャネルとPCボードに直接はんだ付け可能なはんだ付け可能な接触パッドを備えたMIDハウジングで提供されるMicroFlowSensテクノロジの利点を提供します。MIDハウジングはさらに、簡単なシステム統合を提供する内蔵フローチャネルを使用して開発されています。 MIDAS M1.xは、3種類の流路形状と、ご要望に応じてお客様固有のセンサおよび流路が用意されています。センサと流路の両方が特別に設計されているため、このシステムの出力信号は極端に低い温度依存性を備えています(外部温度補償なしでフルスケールの2%未満)。

    MIDAS M1.xのその他の利点は次のとおりです。

    • 流れ方向の検出
    • 超高速応答時間
    • 低質量流量に最適
    • 低消費電力
    • 自動ピックアンドプレースPCBアセンブリに最適
    • 小さな熱質量
    • 優れた対称性 - 低オフセット
    • 非等温条件下でも低温依存性
    • 優れた長期安定性

    IST AG MIDAS M1.xは、気体流量と方向の簡単な統合と超高速測定に最適です。MIDAS M1.xのプロトタイプが入手可能で、間もなく通常生産が開始されます。

    詳しくは、以下を参照してください。

    Data Sheet Flow MID

液体流量センサ

IST AG熱式質量流量センサは、小型で堅牢な設計、およびさまざまなアプリケーションやハウジングへの容易な適応性を兼ね備えています。IST AGは、さまざまなフローアプリケーションに適したソリューションと、有益な価格でアプリケーション固有の要件を満たすようにパラメータをカスタマイズするオプションを提供します。

個々の流量センサの要件については、今すぐお問い合わせください!

  • Out of Liquid-有害な液体の流量アプリケーションに最適

    IST AGの液体流量センサは、信頼性が高く実績のある熱質量流量測定原理を利用しており、有害な液体媒体を使用した流量用途向けに特別に開発されています。このセンサは、アプリケーションに簡単に適応できる柔軟性を低コストで提供します。液体流路内の流れを直接測定することは、寿命を劇的に短縮し、センサを損傷しないようにすることは、困難な作業であることが証明されています。Out of Liquidフローセンサは、流れの有無スイッチを作成する可能性を提供します。 また、非常に正確な測定の可能性も提供します。ヒータと温度センサチップ(両方とも裏面メタライゼーション)がステンレス鋼のフローチャネルにはんだ付けされており、液体と直接接触することなく、液体との優れた熱接触を提供します。つまり、このセンサを使用すると、有害な液体も簡単に測定できます。

    Out of Liquidフローセンサのさらなる利点は次のとおりです。

    • 高い耐薬品性
    • センサと液体が接触しない
    • シンプルなフロースイッチが可能

    IST AG液切れセンサは、有害な液体の流量測定に最適です

    詳細については、以下を参照してください。

    Data Sheet Flow Out of Liquid

    さらに、IST AGは、Out of Liquidセンサの評価用にフローモジュールを提供しています。

    Out of Liquid Demo Board-有害な液体の流れアプリケーションのデモンストレーションに最適

    IST AGの Out of Liquidデモボードは、Out of Liquidフローセンサのデモ用に開発されました。Out of Liquidデモボードは、プラグアンドプレイツールとして使用でき、高速な測定結果を提供します。

    Out of Liquidデモボードのその他の利点は次のとおりです。

    • DC5Vの単一電源
    • センサと液体が接触しない
    • 有害な液体に適しています
    • ユーザで調整可能

    詳細については、以下を参照してください。

    Data Sheet Flow Demo Board

    Quick Start Guide Flow Demo Board