流量传感器

Innovative Sensor Technology IST AG薄膜质量流量传感器为各种流量应用提供了解决方案。薄膜和膜盒技术采用高度精确的温度传感器和加热器作为传感器的核心元件。该传感器可以用于气体和液体应用,工作温度范围为-20 °C~+400 °C,可以测量0 m/s ~100 m/s的流量和方向。

IST AG开发和生产热式流量传感器,为气体和液体应用中的流量测量提供了三种不同解决方案。标准解决方案是各种流量应用的最佳方案,但也可以进行调整,以满足客户的特定要求。对于标准流量传感器,提供用于评价的电子元件。

凭借多年经验,IST AG还可以技术开发和咨询的形式提供针对客户特定应用的开发服务。作为标准开发过程的一部分,IST AG会在实施时提供支持,以确保为特定应用提供最佳解决方案。

气体流量传感器

IST AG热式质量流量传感器兼具尺寸小、设计牢固、方便调整以适应不同应用和罩壳的优点。IST AG为各种流量应用提供了大量解决方案,同时还允许客户定制参数,从而以优惠的价格满足特定应用的要求。IST AG气体流量产品包括基于测风和量热原理的传感器。

开发渠道保证了可对传感器进行最好的调整,无论是动态量程、响应时间、方向检测还是环境条件。

  • FS - 流量传感器

    我们的FS7是各种气体流量应用的最佳标准解决方案。FS7.4W专为温度高达400 °C的应用设计。这两种热式气体流量系列都采用测风原理工作,一片芯片上有两个铂电阻,芯片插入流道——一个小电阻用作加热器,一个大电阻用于测量气体温度。测风原理以流速函数为基础,使用传热原理来确定流速。加热器设置为与温度传感器测得的环境温度保持恒定温差。FS2采用量热原理运行,可以检测流速和流向。

    流量经过加热器时,热量从加热器传递到介质,能量转移到流体中,温差减小。因此,加热器功率必须加大,以恢复“原”温差。流量加大时,传递的热量数量也增大。因此,调整温差所需的功率就成为了测量流经传感器流量的一个指标。了解热量传递后,可以基于保持恒定温差所需的电压补偿数量来确定流量。

    加热器和温度传感器采用铂金制成,具有出色的长期稳定性。

    FS2热式气体流量传感器采用量热原理工作,由四个铂薄膜电阻组成——一个铂薄膜电阻用作加热器,两个铂薄膜电阻用于检测流速和流向,一个温度传感器用于测量环境温度。加热器被两个温度传感器包围着。流量流经传感器时,热量从传感器传递到介质。流量加大时,传递的热量数量也加大。这会产生一个输出信号,该信号是流速和流向的函数。了解热量传递后,可以基于保持恒定温差所需的电压补偿数量来确定流量。在没有流量的情况下,这两个电阻等量加热。如果有流量,根据流向不同,其中一个会比另一个降温更多。

  • FS7 - 温度不超过+150 °C时要求高灵敏度应用的最佳选择

    IST AG FS7流量传感器是FS5流量传感器的后续产品,采用对称的加热器设计,具有增强的灵敏度。FS7流量传感器适合用于气体应用,具有出色的长期稳定性。FS7传感器的热质量小,因此响应时间短。此外,标准 FS7传感器还配备罩壳,从而方便用于各种不同应用。

    FS7流量传感器的更多优点包括:

    • 便于调整以适应不同应用和罩壳
    • 出色的长期稳定性
    • 简单的信号处理
    • 简单的校准
    • 稳定的铂技术
    • 出色的重现性
    • 可按客户要求进行定制

    IST AG FS7流量传感器是各种流量应用中测量气体流量的最佳选择。

    更多信息参见:

    Data Sheet Flow FS7

    Application Note Flow FS7

    另外,IST AG提供用于对FS热式气体流量传感器进行评价的模块:

    FS流量模块—FS评价的最佳选择

    IST AG FS流量模块能够轻松地对FS热式气体流量传感器进行评价。FS流量模块为即插即用型工具,能够快速给出测量结果,无需进行任何额外调整。

    FS流量模块的更多优点包括:

    • 易于使用的即插即用型模块(未校准),带模拟输出
    • 信号不受微处理器或软件影响
    • 简单的恒温风速计 (CTA)
    • 简单的增益调整

    更多信息参见:

    Data Sheet Flow Demo Board

    Quick Start Guide Flow Demo Board

  • FS7.4W - 温度不超过+400 °C时要求高灵敏度应用的最佳选择

    IST AG FS7.4W开发用于温度不超过400 °C的应用。FS7.4W在FS7 的基础上设计,拥有对称的加热器和增强的灵敏度。FS7.4W流量传感器适合用于气体应用,具有出色的长期稳定性。 FS7.4W传感器的热质量小,因此响应时间短。

    FS7.4W流量传感器的更多优点包括:

    • 便于调整以适应不同应用和罩壳
    • 出色的长期稳定性
    • 简单的信号处理
    • 简单的校准
    • 稳定的铂技术
    •  出色的重现性
    • 可按客户要求进行定制

    IST AG FS7.4W流量传感器是各种流量应用中测量气体流量的最佳选择。

    更多信息参见:

    Data Sheet Flow FS7.4W

    Application Note Flow FS7

    另外,IST AG提供用于对FS热式气体流量传感器进行评价的模块:

    FS流量模块—FS评价的最佳选择

    IST AG FS流量模块能够轻松地对FS热式气体流量传感器进行评价。FS流量模块为即插即用型工具,能够快速给出测量结果,无需进行任何额外调整。

    FS流量模块的更多优点包括:

    • 易于使用的即插即用型模块 (未校准)
    • 信号不受微处理器或软件影响
    • 简单的(恒温风速计(CTA)
    • 简单的增益调整

    更多信息参见:

    Data Sheet Flow Demo Board

    Quick Start Guide Flow Demo Board

     

  • FS2 - 测量气体流量和流向的最佳选择

    IST AG FS2流量传感器适用于气体,具有出色的长期稳定性。除了测量流量外,FS2还能检测流向且具有出色的灵敏度。

    FS2流量传感器的其它优点包括:

    • 简单的信号处理
    • 简单的校准
    • 裸传感器可耐受高达+450°C的温度(按照客户要求)
    • 稳定的铂技术
    • 出色的重现性
    • 无运动机械部件
    • 可按客户要求进行定制

    IST AG FS2流量传感器是测量气体流量和流向的最佳选择。

    更多详细信息参见:

    Data Sheet Flow FS2

  • SFS - 硅流量传感器

    SFS是IST AG公司的第一个基于硅技术的流量传感器。它是根据量热原理操作的,因此不仅可以检测流速,而且可以检测流向。

    SFS流量传感器的对称设计使测量信号的读取和评估变得简单。这款传感器可以用于不同气体。它具有灵敏度高、响应时间快、能耗低等特点。

    IST AG提供全方位的合作,从支持客户的系统集成到预装、客户专用的部分解决方案,以及为客户量身定制的完整解决方案。

  • SFS01 - 用于超低流速的超高速测量

    SFS01 EvaKit-易于评估的硅流量传感器的最佳选择

    IST AG SFS01 EvaKit可轻松评估SFS01气体流量传感器。它具有模拟和数字输出(I2c),允许快速和灵活地评估SFS01传感器。I2c输出包括原始值和从0到+200 sccm的校准流量值。

    SFS01 EvaKit的其他优点包括:

    ·         卓越的测量动态

    ·         原始信号的模拟输出

    ·         带原始信号和完全校准信号的数字输出

    ·         带气动接头的集成流道

    有关详细信息,请参阅:

    SFS01特别适合于流速为3.5 m/s(气体)的低流速。它可以非常快速地显示流量和流动方向的测量结果。

    硅流量传感器SFS01提供了三个主要特性

    • 非常快速的响应时间<5 ms
    • 非常低的能耗
    • 易于系统集成,包括温度补偿

    适应性强的几何形状通道允许传感器的性能最佳地适用于所需的应用程序。SFS01流量传感器非常适合空间有限的应用程序,但也可以轻松升级为完整的即时可用系统。

    SFS01流量传感器的适用领域为电池操作/便携式设备中的流量测量、空调技术(HVAC)、自动化技术以及过程和控制工程。

    更多信息可以参考:

    Data Sheet Flow SFS01

    Application Note SFS

     

  • MFS – 微型流量传感器 (MicroFlow Sensors)

    MFS热流量传感器可用于0~150m/s(CTA模式)的宽流量范围和-40°C~+80°C的温度范围,用于各种气体的流量测量。MFS传感器的一个特点是它也适用于烟雾或废气发展的工业流量应用。MFS传感器可以在风速计或量热模式下工作。它也适用于测量流向。

    MFS流量传感器是一个涂有一层膜状薄聚合物的光敏玻璃基板。

    IST AG 为您提供客户定制的MFS传感器-从基于芯片级的适配到单个整体解决方案的联合开发。通过这种方式以确保传感器最适合您的应用。

  • MicroFlow - 在广泛的动态范围内的高性能

    IST AG MicroFlowSens技术开发用于快速流量测量。由于采用膜层系统,热质量被降至最低,从而实现非常短的响应时间以及低功耗。除了测量流量之外,MicroFlowSens还具有出色的灵敏度,能够检测流向。MFS流量传感器是有限空间系统集成的最佳选择,可以用作PCB上的集成传感器。

    MicroFlowSens流量传感器的其它优点包括:

    • CTA模式时高流量和快速响应时间应用的出色解决方案
    • CTA模式时极高动态测量能力(10'000'000 : 1),无旁通
    • 桥接模式时是极低流量和泄漏检测的出色解决方案
    • 对腐蚀性气体和蒸气具有良好的耐化学性
    • 可提供不同的灵敏度和电路拓扑结构
    • 流向检测
    • 可按客户要求定制传感器布局

    IST AG MicroFlowSens是工艺控制、手持设备和医疗应用中流量测量的最佳选择。

    更多信息参见:

    Data Sheet Flow MFS02

    MFS的不同设计提供了匹配传感器的各种可能性,使其最好地满足各种应用的要求。

    下表所示为最重要的传感器参数的对比。

    另外,IST AG提供用于对MFS热式气体流量传感器进行评价的模块:

    MicroFlow Amplifier模块 - 演示和评价MicroFlowSens的最佳选择

    IST AG MicroFlow Amplifier模块能够轻松地对MicroFlowSens气体流量传感器进行评价。MicroFlow Amplifier模块为即插即用型工具,能够快速给出测量结果,无需任何额外调整。在该模块中,MFS02传感器连接在桥接结构中。未校准的电桥电压是流速和流向的函数。

    MicroFlow Amplifier模块的其它优点包括:

    • 单个12 VDC电源
    • 安装流道和气动接头
    • 芯片上的单独温度传感器
    • 在端接单元监控内部供电、补偿和加热器电压
    • 与螺纹端接单元的接口
    • 通过三个微调电位计(增益、补偿和加热器电压)进行调整

    更多信息参见:

    Data Sheet Flow MFS Amplifier Module

    MFM.EVAL.01.DI2C – 差压非常低的应用的最佳选择

    IST AG MFM.EVAL.01.DI2C可在不超过5 Pa的满量程进行差压测量,通过供应的软件和一个 I2C- 或SPI-USB转换器进行评价。除了集成温度测量之外,动态差压模块能够进行专利流量测量, 2百万数字计数,5 mPa无噪声分辨率,近乎零的可重复性,满量程小于0.02 %。

    MFM.EVAL.01.DI2C的其它优点包括:

    • MFS05微型流量传感器——MEMS部件
    • 24位分辨率(流量/压力)
    • 5 Pa操作测量范围
    • 专利流量测量
    • 24位分辨率集成温度测量
    • 数字(I2C, SPI)或PWM信号输出t

    更多信息参见:

    Data Sheet Flow Differential Pressure Module

  • MIDAS M1.x - 轻松集成以及气体流量和流向超快速测量的最佳选择

    IST AG MIDAS M1.x具有MicroFlowSens技术的优点,以MID罩壳形式供货,带有集成流道和可钎焊接触垫 - 接触垫可以直接焊接到PCB上。MID罩壳系另外开发,带有内置流道,可提供简单的系统集成。MIDAS M1.x可提供三种不同流道的形状,如有要求,还可提供定制的传感器和流道。由于传感器和流道的特殊设计,该系统的输出信号的温度相关性极低(满量程<2%,无需外部温度补偿)。

    MIDAS M1.x 的其它优点包括:

    • 流向检测
    • 非常短的响应时间
    • 非常适合低质量流量测量
    • 低功耗
    • 适合于自动贴装PCB组装
    • 热质量小
    • 出色的对称性—补偿小
    • 在非等温条件下温度相关性也较低
    • 出色的长期稳定性

    IST AG MIDAS M1.x是轻松集成以及气体流量和流向超快速测量的最佳选择。

    更多信息参见:

    Data Sheet Flow MID

液体流量传感器

Innovative Sensor Technology IST AG热式液体质量流量传感器兼具尺寸小、设计牢固、调整方便以适应不同应用和罩壳的优点。IST AG可以定制各种参数,从而以具有成本效益好的方式满足特定应用的要求。

  • Out of Liquid - 腐蚀性液体流量应用的最佳选择

    IST AG Out of Liquid传感器采用经验证的可靠热式质量流量测量原理,专门为腐蚀性介质的流量应用开发。该传感器可以灵活地根据特定应用进行调整,且成本更低。事实证明,直接在流道中测量流量而不大幅缩短传感器的使用寿命是一项艰巨的任务。 Out of Liquid传感器能够进行无流量/有流量切换。此外,它还可以实现极为精确的测量。不锈钢流道中钎焊了一个加热器和一个温度传感器芯片,两个元件的背面都金属化,不直接接触液体即可形成出色的热触点,这意味着即使是腐蚀性液体,也可以使用该传感器进行测量。

    Out of Liquid流量传感器的其它优点包括:

    • 良好的耐化学性
    • 传感器和液体之间无接触
    • 可以简单地进行流量切换

    IST AG Out of Liquid流量传感器是在腐蚀性液体中测量液体流量的最佳选择。

    更多信息参见:

    Data Sheet Flow Out of Liquid

    另外,IST AG提供用于对Out of Liquid流量传感器进行评价的模块:

    Out of Liquid演示模块—腐蚀性液体流量应用演示的最佳选择

    IST AG Out of Liquid演示模块开发用于对 Out of Liquid流量传感器进行演示。Out of Liquid演示模块为即插即用型工具,能够快速给出测量结果。.

    Out of Liquid演示模块的其它优点包括:

    • 单个5 VDC电源
    • 传感器和液体之间无接触
    • 适合用于腐蚀性液体
    • 客户可调节

    更多信息参见:

    Data Sheet Flow Demo Board

    Quick Start Guide Flow Demo Board