Die Innovative Sensor Technology IST AG Dünnschicht-Massenflusssensoren bieten Lösungen für eine Vielzahl an Strömungsanwendungen. Die verwendete Dünnschicht- und Membrantechnologie nutzt sehr präzise Temperatursensoren und Heizer als Kernelemente der Sensoren. Wir bieten sowohl Sensoren für Gase (Temperaturbereich von -20 °C bis +400 °C) als auch für Flüssigkeiten (Temperaturbereich von -50 °C bis +180 °C) an. Die Strömungssensoren können Strömungsraten sowie -richtung im Bereich von 0 m/s bis 100 m/s messen.
Die IST AG entwickelt und produziert thermische Strömungssensoren und bietet drei verschiedene Lösungen für die Messung von Strömung in Gasen sowie Flüssigkeiten an. Unsere Standardlösungen eignen sich optimal für den Einsatz in diversen Strömungsanwendungen, können bei Bedarf aber auch an kundespezifische Anforderungen angepasst werden. Für unsere Standard-Strömungssensoren bieten wir eine Elektronik für die Evaluierung an.
Als Partner mit jahrelanger Erfahrung unterstützt die IST AG ihre Kunden in Sachen Technologieentwicklung und Beratung auch bei der Erarbeitung von kundenspezifischen Lösungen. Als Teil unseres Services bieten wir Ihnen Support bei der Sensor-Implementation an – auf diese Weise gewährleisten wir die beste Umsetzung spezifischer Applikationen.
Die thermischen Massenflusssensoren der Innovative Sensor Technology IST AG vereinen die Vorteile von kleinen Abmessungen und robustem Design mit der einfachen Anpassung an verschiedene Applikationen und Gehäuse. Diese Strömungssensoren der IST AG bieten umfangreiche Lösungsmöglichkeiten für diverse Strömungsanwendungen sowie die Option, einzelne Parameter anzupassen um kundenspezifische Anforderungen zu angemessenen Preisen zu erfüllen. Unsere Strömungssensoren für Gase basieren auf dem anemometrischen sowie dem kalorimetrischen Prinzip.
Durch unsere erfahrene Entwicklung ist die bestmögliche Anpassung des Sensors gewährleistet, sei es in Bezug auf Dynamik, Ansprechzeit, Richtungserkennung oder Umgebungsbedingungen.
Kontaktieren Sie uns noch heute und lassen Sie uns wissen, welche Anforderungen Ihr Strömungssensor erfüllen muss.
FS - Strömungssensoren
Unser FS7 Strömungssensor ist eine Standardlösung für diverse Strömungsanwendungen im Gasbereich. Der FS7.4W wurde speziell für Applikationen mit Temperaturen von bis zu +400 °C entwickelt. Beide Sensoren funktionieren gemäss dem anemometrischen Prinzip und sie bestehen aus zwei Platin-Messwiderständen auf einem Chip, welcher in einen Strömungskanal eingebaut wird. Ein kleiner Widerstand funktioniert als Heizer, ein grosser Widerstand wird für die Messung der Gastemperatur genutzt. Das anemometrische Prinzip basiert auf einer Funktion der Strömungsgeschwindigkeit und nutzt Wärmeübertragungsprinzipien um die Strömungsgeschwindigkeit zu bestimmen. Der Heizer wird auf eine konstante Temperaturdifferenz über der durch den Temperatursensor gemessenen Umgebungstemperatur eingestellt.
Der FS2 funktioniert gemäss dem kalorimetrischen Prinzip und kann für die Messung der Strömungsgeschwindigkeit sowie –richtung eingesetzt werden.
Wenn Strömung am Heizer vorbeifliesst wird Wärme und damit auch Energie vom Heizer in das Medium übertragen, wodurch die Temperaturdifferenz sinkt. Folglich muss die Energie des Heizers erhöht werden, um die „Original“-Temperaturdifferenz wieder herzustellen. Wenn die Strömung stärker wird, erhöht sich auch die übertragene Wärme. Die Energie, welche zur Anpassung der Temperaturdifferenz benötigt wird, ist daher ein Mass für die Strömung, die am Sensor vorbeifliesst. Durch die Kenntnis der Wärmeübertragung kann die Strömungsrate anhand der Strömungskompensation, die für das Aufrechterhalten einer konstanten Temperaturdifferenz benötigt wird, bestimmt werden.
Der Heizer und der Temperatursensor sind aus Platin und zeichnen sich durch eine hervorragende Langzeitstabilität aus.
Der thermische FS2 Strömungssensor für Gase funktioniert gemäss dem kalorimetrischen Prinzip und besteht aus vier Platin-Dünnschicht-Messwiderständen – ein Widerstand wird als Heizer genutzt, zwei Widerstände sind für das Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit und –richtung verantwortlich und ein Widerstand misst die Umgebungstemperatur. Der Heizer wird dabei von zwei Messwiderständen umgeben. Wenn Strömung am Heizer vorbeifliesst wird Wärme und damit auch Energie vom Sensor in das Medium übertragen. Wenn die Strömung stärker wird, erhöht sich auch die übertragene Wärme. Dies führt zu einem Ausgangssignal, welches eine Funktion der Strömungsgeschwindigkeit und –richtung ist. Durch die Kenntnis der Wärmeübertragung kann die Strömungsrate anhand der Strömungskompensation, die für das Aufrechterhalten einer konstanten Temperaturdifferenz benötigt wird, bestimmt werden. In keinem Strömungszustand werden die beiden Widerstände neben dem Heizer gleich stark erhitzt. Wenn Strömung aufkommt, wird einer von ihnen stärker abgekühlt als der andere – abhängig von der Strömungsrichtung.
FS7 - Optimal für Applikationen, die eine hohe Empfindlichkeit bis +150 °C erfordern
Der IST AG FS7 Strömungssensor mit symmetrischem Heizerdesign und verbesserter Empfindlichkeit ist der Nachfolger des FS5 Strömungssensors. Er wird zur Messung von Gasen eingesetzt und bietet eine hervorragende Langzeitstabilität. Die geringen thermischen Masse des FS7 Sensors ermöglichen eine schnelle Ansprechzeit. Der FS7 ist mit und ohne Gehäuse erhältlich. Die Version mit Gehäuse lässt sich sehr leicht in diverse Applikationen implementieren.
Weitere Vorteile des FS7 Strömungssensors sind:
Einfacher Einbau in diverse Gehäuse und Applikationen
Ausgezeichnete Langzeitstabilität
Einfache Signalauswertung
Einfache Kalibrierung
Stabile Platin-Technologie
Exzellente Reproduzierbarkeit
Der IST AG FS7 Strömungssensor eignet sich optimal um Gasströmungen in diversen Strömungsanwendungen zu messen.
Zusätzlich bietet die IST AG Module für die Evaluierung der thermischen FS Strömungssensoren für Gase an:
Flow Demo Board - Optimal für die Evaluierung der FS Strömungssensoren
Das IST AG Flow Demo Board ermöglicht die einfache Evaluierung des thermischen FS Strömungssensors für Gase. Das Demo Board kann als Plug & Play-Tool genutzt werden und liefert schnelle Messergebnisse ohne zusätzliche Anpassungen.
Weitere Vorteile des Demo Boards sind:
Leicht zu benutzendes Plug & Play-Modul (nicht kalibriert)
Signal wird nicht von Mikroprozessoren oder Software beeinflusst
FS7.4W - Optimal für Applikationen, die eine hohe Empfindlichkeit bis +400 °C erfordern
Der IST AG FS7.4W Strömungssensor wurde für Applikationen mit einer Temperatur von bis zu 400 °C entwickelt. Das Design des FS7.4W basiert auf dem FS7 mit symmetrischem Heizer für eine erhöhte Empfindlichkeit. Der FS7.4W wird zur Messung von Gasen eingesetzt und bietet eine hervorragende Langzeitstabilität. Die geringen thermischen Masse des Sensors ermöglichen eine schnelle Ansprechzeit.
Weitere Vorteile des FS7.4W Strömungssensors sind:
Einfacher Einbau in diverse Gehäuse und Applikationen
Ausgezeichnete Langzeitstabilität
Einfache Signalauswertung
Einfache Kalibrierung
Stabile Platin-Technologie
Exzellente Reproduzierbarkeit
Der IST AG FS7.4W Strömungssensor eignet sich optimal um Gasströmungen in diversen Strömungsanwendungen zu messen.
Zusätzlich bietet die IST AG Module für die Evaluierung der thermischen FS Strömungssensoren für Gase an:
Flow Demo Board - Optimal für die Evaluierung der FS Strömungssensoren
Das IST AG Flow Demo Board ermöglicht die einfache Evaluierung des thermischen FS Strömungssensors für Gase. Das Demo Board kann als Plug & Play-Tool genutzt werden und liefert schnelle Messergebnisse ohne zusätzliche Anpassungen.
Weitere Vorteile des Flow Demo Boards sind:
Leicht zu benutzendes Plug & Play-Modul (nicht kalibriert)
Signal wird nicht von Mikroprozessoren oder Software beeinflusst
FS2 - Optimal für die Messung von Gasströmungen und deren Richtung
Der IST AG FS2 Strömungssensor wird zur Messung von Gasen eingesetzt und bietet eine hervorragende Langzeitstabilität. Zusätzlich zur Messung der Strömungsrate, kann der FS2 die Strömungsrichtung mit einer hervorragenden Empfindlichkeit feststellen.
Weitere Vorteile des FS2 Strömungssensors sind:
Einfache Signalauswertung
Einfache Kalibrierung
Ungeschütztes Sensorelement widersteht bis zu +450 °C (kundenspezifisch)
Stabile Platin-Technologie
Exzellente Reproduzierbarkeit
Keine bewegten mechanischen Teile
Der IST AG FS2 Strömungssensor eignet sich hervorragend für die Messung von Gasströmungen und deren Richtung.
Der SFS ist der erste Strömungssensor der IST AG, welcher auf Siliziumtechnologie basiert. Er wird im kalorimetrischen Prinzip betrieben und kann so neben der Strömungsgeschwindigkeit auch die Strömungsrichtung erkennen.
Das symmetrische Design des SFS Strömungssensors erlaubt eine einfache Interpretation und Auswertung des Messsignals. Der Sensor kann in verschiedenen Gasen eingesetzt werden. Er zeichnet sich durch eine hohe Sensitivität, eine sehr schnelle Ansprechzeit sowie seinen extrem geringen Energieverbrauch aus.
Die IST AG bietet von der Unterstützung bei der kundenseitigen Systemintegration über vorkonfektionierte, kundenspezifische Teillösungen bis zu einer auf die Kundenanwendung ausgelegten Gesamtlösung die volle Bandbreite der Zusammenarbeit an.
SFS01 - Für die ultra schnelle Messung kleiner Strömungsraten
Der SFS01 eignet sich besonders für kleine Strömungsgeschwindigkeiten bis zu 3.5 m/s (in Gasen). Er zeigt sehr schnelle Messergebnisse der Durchflussrate sowie der Strömungsrichtung.
Der Silizium-Strömungssensor SFS01 zeichnet sich insbesondere durch drei Eigenschaften aus:
Gut angepasste Kanalgeometrien ermöglichen es, dass die Performance des Sensors bestmöglich auf die gewünschte Anwendung ausgerichtet ist. Der SFS01 Strömungssensor ist optimal für platzlimitierte Anwendungen geeignet, kann aber auch einfach zu vollständigen «ready-to-use»-Systemen aufgerüstet werden.
Geeignete Anwendungsbereiche des SFS01 Strömungssensors sind Strömungsmessungen in batteriebetriebenen / portablen Geräten, Klimatechnik (HLK), Automatisierungstechnik sowie Prozess- und Regelungstechnik.
SFS01 EvaKit - Optimal zur einfachen Auswertung des SFS01
Das IST AG SFS01 EvaKit bietet eine einfache Auswertung des SFS01 Gasflusssensors. Es verfügt über einen analogen und digitalen Ausgang (I2C) und ermöglicht eine schnelle und flexible Auswertung des SFS01 Sensors. Der I2C-Ausgang beinhaltet sowohl Rohwerte als auch kalibrierte Durchflusswerte von 0 bis +- 200 sccm.
Weitere Vorteile des SFS01 EvaKits sind:
Hervorragende Messdynamik
Analoge Ausgabe des Rohsignals
Digitalausgang mit Rohsignal und vollständig kalibriertem Signal
Integrierter Strömungskanal mit pneumatischen Anschlüssen
Der thermische MFS Strömungssensor kann in einem grossen Strömungsbereich von 0 bis 150 m/s (CTA-Modus) und in einem Temperaturbereich von -40 °C bis +80 °C eingesetzt werden. Er wird für die Durchflussmessung der unterschiedlichsten Gase verwendet. Eine besondere Eigenschaft des MFS Sensors ist, dass er sich auch für industriellen Strömungsanwendungen mit Rauch- oder Abgasentwicklung eignet. Der MFS Sensor lässt sich entweder im anemometrischen oder im kalorimetrischen Modus betreiben. Er eignet sich auch für die Messung der Strömungsrichtung.
MFS Strömungssensoren basieren auf einem photosensitiven Glassubstrat mit einer dünnen Polymerschicht, die als Membran dient.
Die IST AG bietet Ihnen bei Bedarf die kundenspezifische Anpassung der MFS Sensoren an – von der Anpassung auf Basis Chiplevel bis hin zur gemeinsamen Entwicklung einer individuellen Gesamtlösung. So stellen wir sicher, dass der Sensor optimal auf Ihre Anwendung abgestimmt ist.
MicroFlow - Hohe Performance über einen grossen dynamischen Bereich
Die IST AG MicroFlowSens-Technologie wurde für besonders schnelle Strömungsmessungen entwickelt. Durch das Membransystem wird die thermische Masse auf ein Minimum reduziert, was sich in einer sehr schnellen Ansprechzeit und einem geringen Energieverbrauch widerspiegelt. Zusätzlich zur Messung der Strömungsrate zeigt der MFS Sensor eine hervorragende Empfindlichkeit und ist in der Lage, die Strömungsrichtung zu bestimmen. Der MFS Strömungssensor eignet sich ideal die Systemintegration auf begrenztem Raum und ist auch als integrierter Sensor auf PCB erhältlich.
Weitere Vorteile der MFS Strömungssensoren sind:
Optimal für Anwendungen mit hohen Strömungsgeschwindigkeiten und schneller Ansprechzeit im CTA Modus
Sehr hohe Messdynamik im CTA Modus (10‘000‘000 : 1) ohne Bypass
Optimal für sehr geringe Strömungsraten und die Erkennung von Undichtheiten mit Bridge-Modus
Hohe chemische Beständigkeit gegen aggressive Gase und Dämpfe
Unterschiedliche Empfindlichkeiten und Schaltungstopologien erhältlich
Erkennung der Strömungsrichtung
Die IST AG MFS Serie eignet sich optimal für Messungen in der Prozesssteuerung, über Handmessgeräte und bei medizinischen Anwendungen.
Dank der unterschiedlichen Designs kann der MFS Sensor bestimmt werden, der am besten zu den Anforderungen der jeweiligen Anwendung passt. Die nachfolgende Tabelle zeigt einen Vergleich der wichtigsten Sensorparameter.
Zusätzlich bietet die IST AG Module für die Evaluierung der thermischen MFS Strömungssensoren für Gase an:
MicroFlow Verstärkermodul - Optimal für die Demonstration und Evaluierung des MFS
Das IST AG MicroFlow Verstärkermodul ermöglicht die einfache Evaluierung der MFS Strömungssensoren. Das Modul kann als Plug & Play-Tool verwendet werden und liefert ein schnelles Messergebnis ohne zusätzliche Anpassungen. In der Brückenkonfiguration des Verstärkermoduls ist ein MFS02 Sensor integriert. Die unkalibrierte Brückenspannung ist eine Funktion der Strömungsgeschwindigkeit und –richtung.
Weitere Vorteile des MicroFlow Verstärkermoduls sind:
Spannungsversorgung mit nur einer 12 V Speisung
Strömungskanal und Pneumatikanschlüsse bereits montiert
Separate Anschlüsse für den Temperatursensor
Messanschlüsse für Betriebs-, Offset- und Heizspannungen am Abschlussstecker
Anschluss über Schraubklemmen
Anpassung mit drei Trimmpotentiometern (Verstärkung, Offset-Abgleich, Heizspannung)
MFM.EVAL.01.DI2C - Optimal für sehr niedrige Differenzdruck-Anwendungen
Das IST AG Modul MFM.EVAL.01.DI2C bietet die Messung von Differenzdruck bis zu 5 Pa (full-scale), die Evaluierung mit der mitgelieferten Software und einen I2C- oder SPI-to-USB-Adapter. Zusätzlich zu der integrierten Temperaturmessung ermöglicht das dynamische Differenzdruck-Modul eine patentierte Strömungsmessung, zwei Millionen digitale Schritte mit 5 mPa rauschfreier Auflösung und eine Wiederholgenauigkeit in der Nähe des Nullpunkts unter 0.02 % (full-scale).
Weitere Vorteile des MFM.EVAL.01.DI2C sind:
MFS05 MicroFlow-Sensor - MEMS Komponente
24 Bit Auflösung (Strömung/Druck)
5 Pa Betriebsmessbereich
Patentierte Strömungsmessung
Integrierte Temperaturmessung mit 24 Bit Auflösung
MIDAS M1.x (Prototypen erhältlich) - Optimal für die einfache Systemintegration und die ultra-schnelle Messung von Gasströmung
Der IST AG MIDAS M1.x Sensor bietet die Vorteile der Microflow Sens Technologie, wobei der Sensorchip in einem MID Gehäuse mit integriertem Strömungskanal eingebaut wird. Mit Hilfe von lötbaren Kontaktflächen kann der MIDAS M1.x direkt auf eine Leiterplatte gelötet werden. Das MID-Gehäuse wurde mit einem integrierten Strömungskanal entwickelt, wodurch der Systemeinsatz erleichtert wird. Der MIDAS M1.x ist mit drei verschiedenen Strömungskanal-Geometrien erhältlich. Kundenspezifische Anpassungen können nach Absprache vorgenommen werden. Dank des besonderen Design des Sensor sowie des Strömungskanals ist das Ausgabesignal dieses Aufbaus quasi temperaturunabhängig (<2% des Vollausschlags ohne externe Temperaturkompensation).
Weitere Vorteile des MIDAS M1.x Strömungssensors sind:
Erkennen der Strömungsrichtung
Ultraschnelle Ansprechzeit
Gut geeignet für geringe Strömungen
Geringer Energieverbrauch
Geeignet für automatische Bestückungsprozesse von Leiterplatten
Geringe thermische Masse
Perfekte Symmetrie, niedriger Offset
Geringe Temperaturabhängigkeit, auch unter nicht-isothermen Bedingungen
Sehr gute Langzeitstabilität
Der IST AG MIDAS M1.x eignet sich für die einfache Systemintegration und die extrem schnelle Messung von Gasströmung und deren Richtung.
Protoypen des MIDAS M1.x sind bereits erhältlich, die reguläre Produktion startet in Bälde.
Der thermische Massenflusssensor für Flüssigkeiten der Innovative Sensor Technology IST AG vereint die Vorteile von kleinen Abmessungen und robustem Design mit der einfachen Anpassung an verschiedene Applikationen und Gehäuse. Nach Absprache können kundenspezifische Anpassungen verschiedener Parameter kosteneffizient vorgenommen werden, um besonderen Anforderungen gerecht zu werden.
Kontaktieren Sie uns noch heute und lassen Sie uns wissen, welche Anforderungen Ihr Strömungssensor erfüllen muss.
Out of Liquid - Optimal für Strömungsanwendungen in aggressiven Flüssigkeiten
Der IST AG Out of Liquid-Strömungssensor funktioniert gemäss dem zuverlässigen und bewährten thermischen Massenfluss-Prinzip und wurde speziell für Strömungsanwendungen in aggressiven Flüssigkeiten entwickelt. Durch die Flexibilität des Sensors kann er einfach und kostengünstig in Applikationen integriert werden. Das direkte Messen von Strömung in Kanälen mit Flüssigkeiten ohne die drastische Reduzierung der Lebensdauer oder das Beschädigen des Sensors hat sich als schwierige Aufgabe erwiesen. Der Out of Liquid-Sensor bietet die Möglichkeit, einfache Strömungsschalter anzulegen sowie extrem genaue Messungen durchzuführen. Ein Heizer und ein Temperatursensor, beide mit metallisierter Rückseite, werden auf einen Edelstahl-Strömungskanal angelötet. Dadurch wird ein hervorragender thermischer Kontakt mit der Flüssigkeit ermöglicht, ohne dass ein direkter Kontakt zwischen dem Heizer/Temperatursensor und der Flüssigkeit entsteht. Auf diese Weise können auch aggressive Flüssigkeiten problemlos gemessen werden.
Weitere Vorteile des Out of Liquid-Strömungssensors sind:
Hohe chemische Beständigkeit
Kein direkter Kontakt zwischen Sensor und Flüssigkeit
Einfache Strömungsschaltung möglich
Der IST AG Out of Liquid-Strömungssensor eignet sich hervorragend für die Messung von Flüssigkeitsströmung in aggressiven Flüssigkeiten.
Zusätzlich bietet die IST AG Module für die Evaluierung des Out of Liquid Strömungssensors an:
Out of Liquid Demo Board - Optimal für die Demonstration von Strömungsanwendungen in aggressiven Flüssigkeiten
Das IST AG Out of Liquid Demo Board wurde für die Demonstration des Out of Liquid-Sensors entwickelt. Es kann als Plug & Play-Tool genutzt werden und liefert schnelle Messergebnisse.
Weiter Vorteile des Out of Liquid Demo Boards sind:
Einzelversorgung von 5 VDC
Kein direkter Kontakt zwischen Sensor und Flüssigkeit
